集微网消息，本周，杭州积海半导体新增设备招标69台，华虹无锡新增设备招标32台，上海积塔半导体新增设备招标16台；至微半导体（至纯科技子公司）新增中标设备3台，芯源微新增中标设备1台，中科飞测新增中标设备2台，Applied Materials（应用材料）新增中标设备3台。

　　本周招标182台设备，其中，刻蚀设备8台，薄膜沉积17台，工艺检测3台，离子注入1台，CMP3台，清洗设备8台，其他设备142台。

　　本周中标34台设备，其中，刻蚀设备1台，薄膜沉积1台，工艺检测2台，离子注入2台，CMP1台，清洗设备6台，其他设备21台。

　　6月6日，至纯科技发布公告称，公司拟继续使用总额不超过8800万元的部分闲置募集资金暂时补充流动资金；6月8日，华海清科在上海证券交易所科创板上市；6月9日，上交所披露公告称，深圳中科飞测科技股份有限公司将于6月16日科创板首发上会。